半導(dǎo)體廢水處理設(shè)備核心處理工藝與設(shè)備：

處理含磷含氟廢水通常采用“預(yù)處理 + 化學(xué)沉淀（核心） + 深度處理（可選） + 污泥處理"的工藝流程。以下是各環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備：

1.  預(yù)處理單元：

 調(diào)節(jié)池：

    設(shè)備： 鋼筋混凝土池體或鋼制罐體、攪拌機（潛水?dāng)嚢杵骰騻?cè)入式攪拌器）、液位計、pH計（可選）。

     作用：均化水質(zhì)水量，緩沖沖擊負荷，為后續(xù)處理提供穩(wěn)定條件。

   格柵/過濾設(shè)備（如需要）：

       設(shè)備： 機械格柵、籃式過濾器、袋式過濾器等。

      作用：去除大顆粒懸浮物、雜質(zhì)，保護后續(xù)泵和精密設(shè)備。

       pH調(diào)節(jié)池（初調(diào)）：

      設(shè)備： 池體/罐體、攪拌機、pH在線監(jiān)測儀、酸堿加藥系統(tǒng)（計量泵、儲藥罐、管道混合器）。

       作用： 將廢水pH調(diào)整到適合后續(xù)化學(xué)沉淀的范圍（除氟常用pH 6-8，除磷常用pH 5-6或9-10，需根據(jù)具體工藝確定）。

2.  化學(xué)沉淀單元（核心）：

      反應(yīng)池（系列）：

          設(shè)備： 多個串聯(lián)的池體/罐體（通常分快速混合池、慢速絮凝池）、攪拌機（快混用槳式/渦輪式高速攪拌，絮凝用框式/推進式低速攪拌）。

          作用： 投加化學(xué)藥劑，發(fā)生沉淀反應(yīng)，形成氟化鈣、磷酸鈣（羥基磷灰石）或其他金屬磷酸鹽/氟化物沉淀。

      化學(xué)加藥系統(tǒng)：

          設(shè)備： 儲藥罐（石灰乳罐、氯化鈣罐、PAC/PFS罐、PAM罐等）、精密計量泵（隔膜泵、螺桿泵）、管道混合器、流量計、液位計、控制系統(tǒng)。

常用藥劑：

              除氟： 鈣鹽（石灰、氯化鈣）生成CaF?沉淀；鋁鹽（聚合氯化鋁PAC、硫酸鋁）或鐵鹽（聚合硫酸鐵PFS、三氯化鐵）在除磷同時也有一定除氟效果（生成氟鋁/鐵絡(luò)合物沉淀）。

              除磷： 鈣鹽（石灰）生成羥基磷灰石沉淀；鋁鹽（PAC）、鐵鹽（PFS）生成磷酸鐵沉淀。

              絮凝劑： 聚丙烯酰胺（PAM，陰離子或非離子），促進微小絮體凝聚成大顆粒礬花。

      沉淀/澄清設(shè)備：

          設(shè)備：

              斜板/斜管沉淀池： 利用淺池原理加速固液分離，結(jié)構(gòu)緊湊。需配套刮泥機。

              高效沉淀池（如Densadeg, Actiflo等）： 結(jié)合污泥回流、微砂加載或高密度沉淀技術(shù)，效率更高，占地面積小。核心設(shè)備包括混合區(qū)、絮凝區(qū)、沉淀分離區(qū)、刮泥機、污泥循環(huán)泵（及微砂循環(huán)系統(tǒng)）。

   澄清池： 如機械加速澄清池。

          作用： 使化學(xué)沉淀反應(yīng)生成的絮體（礬花）與水有效分離，得到上清液（處理水）和底部污泥

3.  深度處理單元（根據(jù)需要選擇，確保達標）：

      活性氧化鋁/沸石吸附塔（針對氟化物）：

          設(shè)備： 壓力容器（吸附塔）、活性氧化鋁/改性沸石濾料、布水系統(tǒng)、反沖洗系統(tǒng)（水泵、儲罐）、再生系統(tǒng)（再生液儲罐、泵，常用NaOH和H?SO?）。

          作用： 當(dāng)化學(xué)沉淀后氟化物仍超標時使用。活性氧化鋁對氟離子有強吸附能力，飽和后可再生。

      反滲透/納濾膜系統(tǒng)：

          設(shè)備： 保安過濾器、高壓泵、RO/NF膜元件、壓力容器、清洗系統(tǒng)（CIP）、控制系統(tǒng)。

          作用： 對化學(xué)沉淀出水進行深度脫鹽和去除殘余離子（包括氟、磷），產(chǎn)水水質(zhì)好。但投資和運行成本高，產(chǎn)生濃縮液需進一步處理。

      離子交換樹脂柱（較少單獨用于高濃度氟磷，可作為深度處理）：

          設(shè)備： 離子交換柱、專用樹脂（如除氟樹脂）、再生系統(tǒng)。

          作用： 去除殘余的氟、磷離子。

4.  污泥處理單元：

      污泥濃縮池/罐：

          設(shè)備： 池體/罐體、攪拌機（可選）、刮泥機（重力濃縮池）。

          作用： 降低沉淀池排出污泥的含水率，減少后續(xù)處理體積。

      污泥脫水設(shè)備：

          設(shè)備：

              板框壓濾機： 脫水效率高，泥餅含水率低（可至60%以下），適用于粘細污泥（如化學(xué)污泥），間歇運行。

              廂式壓濾機： 類似板框。

              帶式壓濾機： 連續(xù)運行，處理量大，但泥餅含水率相對較高（約78-85%）。

              離心脫水機（臥螺離心機）： 連續(xù)運行，自動化程度高，密閉性好，但能耗較高，對絮凝劑要求高。

          輔助設(shè)備： 污泥進料泵、絮凝劑制備投加系統(tǒng)（PAM）、沖洗水泵、空壓機（氣動設(shè)備用）。

      污泥儲存與處置：

          設(shè)備： 污泥料倉、運輸車輛。

          作用： 儲存脫水污泥，外運進行安全處置（如危廢填埋、建材利用等）。化學(xué)沉淀產(chǎn)生的含氟污泥通常屬于危險廢物（HW32? 具體需鑒定），需按危廢管理。